ДАТЧИК В’ЯЗКОСТІ ГАЗУ НА МІКРОКОНТРОЛЕРІ

Анотація

 24

 

У рамках даного дослідження здійснено розробку датчика в’язкості газу на основі сенсорної технології та мікроконтролера. Запропоновано використання мікрокантилевера, як найбільш спрощеного пристрою на основі MEMS. Наголошується, що молекули, адсорбовані на поверхні мікрокантилевера, можуть викликати зміни частоти коливань і відхилення мікрокантилевера, а отримані зміни частоти вібрації можна використовувати для вимірювання різних параметрів, таких як в'язкість, щільність і швидкість потоку. Саме цей ефект покладено в основу розробки. Підкреслено, що у даному досліджені цифровий датчик в’язкості газу розроблений для фізичного експерименту на основі сенсорної технології та мікроконтролера. Конструкція цифрового датчика в’язкості газу складається з осцилюючого мікрокантилевера, пікова частота резонансного відгуку якого є основною динамічною характеристикою, яка дуже чутлива до щільності та в'язкості навколишнього середовища. П’єзоелектричний перетворювач інтегрований у верхній частині кантилевера, щоб забезпечити активацію. Наголошено, що п'єзоелектричний ефект, може вимірювати зміни маси на рівні від мікрограмів до нанограмів на одиницю площі. Представлено блок-схему програмного забезпечення системи. Зазначається, що спеціальна друкована плата містить чіп MEMS, датчики тиску та температури, точність системи визначається на основі результатів вимірювань і знання розмірів активного поля кристалу.