МОДЕЛЮВАННЯ ТА ОПТИМІЗАЦІЯ ОПТОЕЛЕКТРОННИХ СЕНСОРІВ

Анотація

В роботі розглянуто оптимальну конструкцію оптоелектронного сенсора. Він характеризується здатністю вимірювати переміщення в міліметричному діапазоні з субмікрометричною роздільною здатністю. Сенсор складається з трикутної відбивної решітки і двох волоконно-оптичних зондів. Наведено принцип вимірювання сенсора. Конструкцію трикутної решітки сенсора було математично оптимізовано з урахуванням кута кроку решітки для підвищення роздільної здатності сенсора. Метод оптимізації виявив глобальний оптимум, при якому досягається найвища роздільна здатність.