ТЕХНОЛОГІЯ ЛАЗЕРНОГО НАПИЛЕННЯ ТОНКИХ ПЛІВОК

Анотація

Для розв’язання проблеми отримання періодичних тонкоплівкових багатошарових структур сформованих з складних сполук необхідна інформація про основні параметри конденсації пари на підкладку. Результати розв’язку цієї проблеми можуть бути використані при лазерному осадженні плівок для отримання дзеркал м’якого рентгенівського діапазону та надграток. Теоретичні і експериментальні дослідження авторів присвячені дослідженню нових можливостей лазерного напилення плівок речовин гігантськими лазерними імпульсами, що поєднують складний хімічний склад та унікальні фізичні властивості, а саме сегнетоелектрика SbSJ, який характеризується аномально високими значеннями п'єзокоефіцієнта та сегнетоелектричних параметрів, та п’єзоелектрика Ві₁₂GеO₂₀. Для цих матеріалів в експериментах при напиленні за допомогою мас-спектрометрії визначались основні параметри лазерної плазми. Авторами проведений аналіз електронограм та структури плівок SbSJ, визначені основні параметри та оптимальні умови нанесенні плівок на підкладку.