ТЕХНОЛОГІЯ НАПИЛЕННЯ ПЛІВОК НАНОСЕКУНДНИМИ ЛАЗЕРНИМИ ІМПУЛЬСАМИ
Ключові слова:
цуги, лазерні імпульси, мішень, фаза, напилення, періодичні структури
Анотація
Для оптимізації технологічного процесу ефективного застосування ексимерних лазерів для потреб
плівкових технологій необхідні дані про основні параметри пари, що конденсується на підкладку. Властивості
плівок, отриманих розпиленням мішені наносекундними лазерними імпульсами та властивості парової фази
виявилися практично не дослідженими. У той же час, мас-спектрометричні та зондові дослідження парової фази
дають змогу визначити низку важливих параметрів конденсації. Результатом проведених таких робіт стала
розробка технології формування періодичних структур при опроміненні мішені цугом лазерних імпульсів, який
забезпечує отримання якісних гетерогенних структур.
