РОЗРОБКА МЕТОДУ ПІДВИЩЕННЯ ТОЧНОСТІ ТА ШВИДКОДІЇ ВИМІРЮВАЛЬНИХ КОМПЛЕКСІВ

Анотація

У статті визначено перспективні напрямки в метрологічному забезпечені проведення вимірювань у нанометровому діапазоні. Визначено, що для  вимірювання механічних властивостей наноструктурованих матеріалів з прив'язкою до рельєфу поверхні найбільш поширеними у застосуванні є вимірювальні комплекси, що поєднують у собі можливості скануючих зондових мікроскопів та нанотвердомірів. Тому актуальною постає задача підвищення точності та швидкодії розпізнавальної системи зондового вимірювального комплексу за рахунок оптимального вибору кількості і розміщення вимірювальних точок на поверхні нанооб’єкта та точок відліку для математичного опису топологічних та фізичних характеристик поверхні. Доведено, що однією з основних проблем, які виникають у процесі вимірювання нанооб’єктів за допомогою зондового вимірювального комплексу є негативний вплив зовнішніх дестабілізуючий факторів, які можуть бути причиною спотворення вимірювальної інформації та отримання недостовірного зображення рельєфу нанооб’єкта. Оскільки всі дестабілізуючі фактори та викликані ними похибки завчасно невідомі і випадковим чином змінюються у часі, можна стверджувати, що ми маємо справу з цілим рядом випадкових функцій часу. На основі проведеного дослідження, розроблено метод оптимального вибору кількості вимірювальних точок для математичного опису випадкового процесу та доведено, що запропонований метод сприяє значному підвищенню точності та швидкодії розпізнавальної системи зондових вимірювальних комплексів при проведені метрологічних робіт в нанометровому діапазоні.