МУЛЬТИСЕНСОРНІ ПЛАТФОРМИ НА ОСНОВІ МЕМС ДЛЯ АНАЛІЗУ ГАЗІВ

Анотація

У роботі здійснено порівняльний аналіз різних мультисенсорних МЕМС платформ для аналізу газів. Для ефективного детектування газових сумішей та індивідуальних газів виявлено, що результати вимірювань, такі як чутливість, швидкість відповіді та селективність сенсорів, підтверджуються теоретичними та експериментальними дослідженнями. Одержані дані дозволяють зробити висновок, що використання мультисенсорних МЕМС платформ є перспективним для точного та швидкого аналізу газів, оскільки вони поєднують високу чутливість та можливість одночасного моніторингу кількох параметрів. У результаті аналізу виявлено, що для певних типів газів доцільно використовувати платформу з інтегрованими сенсорами для виявлення кількох параметрів газових сумішей, що забезпечує більш точні результати в порівнянні з використанням окремих сенсорів.