ВПЛИВ СТРУКТУРНИХ ПАРАМЕТРІВ ПРИЗМОВОГО ОПТИЧНОГО ДАТЧИКА НА ЙОГО СЕНСОРНІ ВЛАСТИВОСТІ

Анотація

У роботі досліджено сенсорний елемент оптичного датчика на основі поверхневого плазмонного резонансу. Зокрема, вплив компонентів сенсорного елемента на його сенсорні властивості шляхом моделювання конструктивних варіантів. За модель була обрана конфігурація Кречмана, яка являє собою скляну призму з нанесеною на одну граней багатошарову нанорозмірну структуру. Встановлено, що матеріал призми впливає лише на резонансний кут конструкції. Товщина нанорозмірних плівок золота та срібла змінювалася від 1 до 100 нм. Мінімальне значення коефіцієнта було отримано при товщині золотої та срібної нанорозмірних плівок 50 нм і 45 нм відповідно. Товщина плівки діоксиду кремнію змінювалася від 10 до 150 нм. У структурі Au – SiO₂ додавання діоксиду кремнію покращило оптичні властивості багатошарової структури. Мінімальне значення коефіцієнта відбиття зменшилось, проте товщина діоксиду кремнію становить 3 нм. При збільшенні товщини шару діелектрика, оптичні властивості структури погіршуються. Структура чутливого елемента, в якій використовується нанорозмірна плівка срібла, майже не змінює оптичних властивостей при додаванні шару SiO2, його товщина може досягати 50 нм.